Čisté priestory

Laboratórium (prevádzkované v Piešťanoch) slúži na technológiu polovodičových mikroelektronických štruktúr a súčiastok s využitím vákuovej depozície materiálov, fotolitografických a chemických operácií.

Vybavenie:

• TFDS-462B vysokovákuové depozičné zariadenie (scroll a turbomolekulárna pumpa, zdroj odparovania elektrónovým lúčom Telemark TT-6, dva termálne odparovacie zdroje 3,2 kW, kontrolér rýchlosti rastu a hrúbky tenkej vrstvy Telemark 880, PC prepojovací softvér komunikujúci s PLC riadiacim systémom),
• UF-30 vyhrievacia a sušiaca pec (do teploty 300 °C),
• spin coater na nanášanie a vyvolávanie fotorezistu,

• jednostranná optická expozička, kontrolný optický mikroskop,
• dva chemické boxy pre prácu s organickými a anorganickými látkami.

Využitie:

• vysokovákuové odparovanie kovov na vytvorenie kontaktových vrstiev pre polovodičové štruktúry a súčiatky,
• fotolitografické spracovanie polovodičových dosiek do priemeru 3″,
• čistiace a mokré leptacie procesy pri spracovaní polovodičových dosiek.

Kontakt: Pavol Boháček, Tel.: 033-3811406 (depozičné zariadenie)

Prístup: zaslať objednávku – iba pre využitie depozičného zariadenia.

Cena: 0 Eur/hod. pre zamestnancov SAV (úhrada prevádzkových nákladov zariadení a spotrebného materiálu)

VV depozičný systém TFDS-462B a sušiaca pec UF-30.

Chemické boxy pre prácu s anorganickými a organickými látkami