Čisté priestory

Laboratórium (prevádzkované v Piešťanoch) slúži na technológiu polovodičových mikroelektronických štruktúr a súčiastok s využitím vákuovej depozície materiálov , fotolitografických operácií a chemických operácií.

Zariadenie:

  • TFDS-462B vysokovákuové depozičné zariadenie (scroll a turbomolekulárna pumpa, zdroj odparovania elektrónovým lúčom Telemark TT-6, dva termálne odparovacie zdroje 3.2 kW, kontrolér rýchlosti rastu a hrúbky tenkej vrstvy Telemark 880, PC prepojovací softvér komunikujúci s PLC riadiacim systémom),
  • UF-30 vyhrievacia a sušiaca pec (do teploty 300° C),
  • spin coater na nanášanie a vyvolávanie fotorezistu,
  • jednostranná optická expozička, kontrolný optický mikroskop,
  • dva chemické boxy pre prácu s organickými a anorganickými látkami.

Využitie:

  • vysokovákuové odparovanie kovov na vytvorenie kontaktových vrstiev pre polovodičové štruktúry a súčiatky,
  • fotolitografické spracovanie polovodičových dosiek  do priemeru 3″,
  • čistiace a mokré leptacie procesy pri spracovaní polovodičových dosiek.

Kontakt: P. Boháček, Tel.: 033-3811406 (depozičné zariadenie)

Prístup: zaslať objednávku iba pre využitie depozičného zariadenia.

Cena: 0 Eur/hod. pre zamestnancov SAV (úhrada prevádzkových nákladov zariadení a spotrebného materiálu)

    

VV depozičný systém TFDS-462B a sušiaca pec UF-30.

 

Chemické boxy pre prácu s anorganickými a organickými látkami