Čisté priestory

Laboratórium je súčasťou  Centra aplikovaného výskumu.
Slúži na vývoj moderných elektronických zariadení, snímačov a tranzistorov. Pozostávajú z dvoch miestnosti: laboratórium fotolitografie a laboratórium pre nanášanie kovov. Trieda čistoty je 1 000 podľa normy US Fed. Štandard 209 (trieda ISO 6 podľa normy ISO 14644-1), počet prachových častíc sa udržiava na 1 000 častíc veľkosti 0,3 μm a väčších na kubickú stopu. Výkonný systém vzduchotechniky udržiava aj konštantnú teplotu (22 °C) a vlhkosť (40%).

Zariadenia:

Využitie:

  • optická fotolitografia
  • príprava a spracovanie vzoriek pre elektrónovú litografiu
  • opracovanie povrchov kyslíkoou plazmou
  • mokré leptanie pomocou vysokokvalitných VLSI chemikálií

Kontakt: Ing. Eva Kováčová, tel.: 02-5922 2937

Prístup: prístup so sprievodom

Cena: 10 Eur/hodinu pre zamestnancov SAV  (prevádzkové náklady)

Documentácia: SUSS MJB4

Dokumenty

 

Fotolitografické laboratórium v Čistých piestoroch