Depozičné laboratórium

Laboratórium poskytuje depozíciu tenkých kovových, dielektrických a magnetických vrstiev. Systém zahŕňa magnetrónové naprašovanie, elektrónové a tepelné naparovanie. Zariadenie umožňuje úpravu vzorky pred samotnou depozíciou pomocou RF a iónového čistenia a tiež aj jej ohrev.

Zariadenie:

  • Hybridný naparovací a naprašovací systém AJA Orion 8E
  • Suché vákuum s do tlakov 1×10-8 Torr  (Kryo pumpa, load lock systém)
  • Naparovanie – dve nezávislé multikelínkové elektrónové delá , dva lodičky
  • Naprašovanie – dva 2” UHV magnetróny A320-XP s napájaním DC a RF
  • Substrát  – priemer 3”, ohrev radiáciou (850°C), RF/DC predpätie, čistenie iónovým delom, rotácia a z posuv v rozsahu 2”

Aplikácie:

  • Elektrónové naparovanie materiálov pre mikroelektroniku
  • Simultánne naparovanie dvoch materiálov súčasne
  • Príprave ohmických a Schottkyho kontaktov
  • RF a DC naprašovanie kovových, izolačných a magnetických materiálov (co-depozícia, supermriežky)
  • Depozícia materiálov pri rôznych plynoch : N2 (TiN), O2 (Al2O3)

Kontakt: Ing. J. Fedor, PhD., tel.: 02-5922 2358

Prístup: prístup pod odborným dohľadom, rezervovanie e-mailom alebo telefonicky

Cena: 0 Eur/hod pre SAV zamestnancov

 

AJA Orion 8E naparovací a naprašovací systém s load-lock komorou a dvomi riadiacimi stojanmi