Laboratórium SPM

Laboratórium je súčasťou  Centra aplikovaného výskumu
Slúži na výskum povrchu vzoriek pomocou skenovacej elektrónovej mikroskopie a skenovacej sondovej mikroskopie. Laboratórium umožňuje vedcom zobrazovať, charakterizovať a taktiež modifikovať materiálové štruktúry v rozsahu niekoľkých milimetrov až do sub-100 nm rozmerov. Povrchová modifikácia vzoriek sa môže uskutočniť lokálnou anodickou oxidáciou alebo litografiou elektrónovým lúčom.

Zariadenia:

  • NTEGRA Prima, skenovací sondový mikroskop (SPM), ktorý využíva niekoľko SPM techník ako napr. mikroskopiu atomárnych síl (AFM), magnetických (MFM) a elektrických síl (EFM), ďalej kelvinovskú mikroskopiu (KPM) a taktiež techniku lokálnej anodickej oxidácie (LAO).
  • Inspect F50, skenovací elektrónový mikroskop doplnený o litografický softvér Elphy Quantum od firmy Raith a laserový interferometrický system pre presné ovládanie pozičného stolíka.
  • FEG250, skenovací elektrónový mikroskop so Schottkyho katódou vybavený detektorom sekundárnych (SE) ako aj odrazených elektrónov (BSE) s možnosťou merať v tzv. environmentálnom móde (pre pozorovanie nevodivých vzoriek)

Využitie:

  • zobrazovanie topografie povrchu vodivých a nevodivých vzoriek
  • analýza drsnosti povrchu
  • magnetické merania s možnosťou merať v externom magnetickom poli do 200 mT
  • lokálna anodická oxidácia
  • litografia elektrónovým lúčom

Kontakt: Ing. J. Šoltýs, PhD., tel.: 02-5922 2652

Prístup: Prístup s odborným doprovodom, neskôr samostatne po zaškolení vedúcim laboratória

Cena: 0 Eur/hod pre SAV zamestnancov

 

Skenovací elektrónový mikroskop FEG250 (v strede) poskytujúci rozlíšenie 1,2 nm a skenovací sondový mikroskop NTEGRA Prima (vpravo) s rozlíšením 0,1 nm