2013

Spôsob tvarovania tenkých supravodivých vrstiev na báze tália

Cieľom práce bolo nájsť rýchly a efektívny spôsob tvarovania tenkých supravodivých vrstiev na báze tália mokrou cestou. Doteraz sa na mokré leptanie tenkých táliových supravodivých vrstiev úspešne využívali napríklad di- a trikarboxylové kyseliny ako kyselina jantárová, šťaveľová, malónová, citrónová, adipová alebo vínna. Rýchlosť leptania je nízka (od 0.3 do 0.6 nm / s). Takisto je možné použiť kyselinu etyléndiamíntetraoctovú (H4EDTA) a jej sodné soli, pričom je však počas leptania potrebné udržiavať pH roztoku a jeho prebublávanie dusíkom, rýchlosť leptania je približne 1 nm / s. Hlavné nedostatky týchto metód tvarovania spočívali v nízkej rýchlosti leptania a selektívneho leptania. Vyššie uvedené problémy rieši použitie leptadla na báze jodidu draselného. Vynález slúži na prípravu tenkovrstvových štruktúr supravodičov na báze tália pomocou fotolitografie a mokrého leptania. Ako leptadlo sa využíva vodný roztok jodidu draselného, kyseliny chlorovodíkovej a kyseliny askorbovej. Proces leptania je dostatočne rýchly (okolo 15 nm / s), na povrchu podložky nezostávajú reziduá a nedochádza k degradácii supravodivých vlastností.

SEM obrázok supravodivej štruktúry na báze tália pripravenej pomocou fotolitografie a mokrého leptania.

Dosiahnuté výsledky sú predmetom patentovej prihlášky č. PP 5030-2013 s názvom Spôsob tvarovania tenkých supravodivých vrstiev na báze tália.

Sojková, M., Štrbik, V., Španková, M., and Chromik, Š.: Patterning of Tl-based superconducting films using new etching solution. Applied Surface Sci 312 (2014) 208-211.