Laboratórium PLD


Vybudovanie Laboratória PLD v rámci Centra a jeho prepojenie na ďalšie tenkovrstvové technológie v Centre prispieva k významnému zvýšeniu kvality výskumu a vývoja nových (nano)materiálov pre elektroniku a elektrotechniku.
Vyriešil sa technologický problém depozície viacerých materiálov v jednom vákuovom cykle pri príprave komplikovaných viacvrstvových štruktúr.


Zariadenie PLD umiestnené v budove ElÚ SAV

Prezentácia