Integra TDS, s.r.o. |
1. Nano-obrábacie centrum 350FG Moore 2. Zariadenie na úpravu vody v polovodičovej kvalite
3. Difraktometer D8 Discover od firmy Bruker | |
Elektrotechnický ústav SAV |
Rtg zobrazovací systém 1. Rtg 3D zobrazovací systém s mikrofokusným 2. goniometrom Newport a vysokorolišovacou rtg kamerou zdrojom Hamamatsu 3. Naparovacie zariadenia (PVD) Medipix detektor s počtom pixelov 256x256. Veľkosť pixelu 55 μm. (http://medipix.web.cern.ch/medipix/pages/medipix2/medipix2.php) Vysokopresné polohovacie zariadenie obsahujúce dva hexapody pre nastavovanie rtg optiky Testovací obrazec pre testovanie rozlišovacej schopnosti rtg zobrazovacieho systému. Obrazec umožňuje zmerať priestorové rozlíšenie do 0.5 μm. (http://www.aps.anl.gov/Xray_Science_Division/Detectors/Detector_Pool/Detector_Information/Xradia/DataSheet_X500-200-30.pdf) Fresnelova zónová doštička určená pre fokusáciu rtg zväzku s priestorovým rozlíšením 120 nm pri fokusačnej dĺžke 300 mm pre enrgiu 8 keV. Priemer zónovej doštičky je 385 μm. (http://www.x-ray-optics.de/index.php?option=com_content&view=article&id=22&Itemid=125) | |
Fyzikálny ústav SAV |
1. Mikrofokusný rtg zdroj s tekutou gáliovou anódou pre testovanie parametrov rtg kryštálovej optiky Metaljet (109 p/s po Montelovej optike) s kolimáciou lúča (beamsize 550 µm, 300 µm) a divergenciou <500 mrad. Po kolimácii s použitím 550 µm kruhovej štrbiny je finálny tok 108 p/s 2. 2. Mikrofokusný rtg zdroj s medenou anódou pre testovanie parametrov rtg kryštálovej optiky Ramanova spektroskopia Profilometria Mikroskopia atomárnych síl - AFM |